Пиролитический нитрид бора
Описание
Материал обладает уникальным комплексом физико-механических свойств, который делает пиролитический нитрид бора незаменимым в области специальной техники и электроники.
Запатентованная технология производства позволяет получать изделия, обладающие оптимальным сочетанием свойств для конкретного применения и условий работы.
Области применения
- В качестве контейнеров для синтеза и выращивания полупроводниковых кристаллов АIIIВV по методу Чохральского
- В качестве контейнеров для синтеза и выращивания кристаллов по методу Бриджмена
- При создании гетероструктур в качестве испарительных ячеек в установках молекулярно-пучковой эпитаксии
- В производстве интегральных микросхем в качестве твердого планарного источника (ТПИ) примеси бора для диффузии в кремний
- В конструкции электронных приборов (окна вывода СВЧ-энергии)
- В качестве диэлектрических прокладок мощных конденсаторов для СВЧ-техники
- В качестве стержней-теплоотводов в лампах бегущей волны (ЛБВ)
- В качестве электроизоляторов в корректирующих плазменных двигателях космических аппаратов
Физико-механические и физические свойства
Свойства | ПНБ на основе H - BN (H - BN + T - BN) (гексагональный ПНБ) | ПНБ на основе R - BN (R - BN + T - HN) (ромбоэдрический ПНБ) |
Плотность, г/см3 | 1,95 - 2,20 | 2,15 - 2,27 |
Предел прочности при изгибе, усилие вдоль оси "с", МПа | 100 - 150 | 160 - 220 |
Модуль Юнга, вдоль оси "а", ГПа | 15 - 24 | 120 - 160 |
Коэффициент теплопроводности, вдоль оси "а", Вт м-1K-1 | 50 - 80 | 120 - 180 |
Удельное сопротивление, Ом см | 1015 | 1015 |
Коэффициент линейного расширения, вдоль оси "а", 10-6К-1 | 1,90 - 4,20 | -(1,50 - 2,00) |